扫描电子显微镜(Scanning electron microscope)，简称SEM。由电子光学系统，信号收集处理、图像显示和记录系统，真空系统三个基本部分组成。其成像原理和透射电子显微镜完全不同。它不用电磁透镜放大成像，而是以类似电视摄影显像的方式，利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。新式扫描电子显微镜的二次电子像分辨率已达3~4nm，放大倍数可从数倍原位放大到20万倍左右。由于扫描电子显微镜的景深比光学显微镜大，因此可以用它进行显微断口分析。用扫描电子显微镜观察断口时，样品不必复制，可直接进行观察，这给分析带来了极大的方便。因此目前显微断口的分析工作大多数都是用扫描电子显微镜来完成的。由于电子枪的效率不断提高，使扫描电子显微镜的样品室增大，可以装入更多的探测器。因此，目前的扫描电子显微镜已不限于分析形貌，而且可以与其他分析仪器相结合，同时进行微区成份和晶体结构等多种微观成份组织结构信息的同位分析。
